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苏州爱拓利电子设备有限公司
320系列
气体质量流量控制器
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Product Overview
产品概况

MFC320 系列为全新升级的MEMS气体质量流量计/控制器。

320系列工作原理
产品特点

精度：0.5 % F.S.

控制范围：1%~100% F.S.

工作压差范围：0-1 MPa

10ms测量响应，300ms控制响应

抗腐蚀型可选

量程：1 sccm-200slm

通讯方式：模拟量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat

Technical Parameters
技术参数
主要参数
  • 介质要求
    洁净干燥无腐蚀性气体
  • 气体种类
    20+ （抗腐蚀型可选）
  • 量程
    0-1,5,10,20,50,100,300,500 sccm
    0-1,2,3,4,200 slpm
  • 测量范围
    0.2% - 100% F.S. (1:500)
  • 控制范围
    1% - 100% F.S. (1:100) (MFC)
  • 准确度
    ±0.5%F.S.
  • 重复精度
    ±0.5%F.S.
  • 线性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.001 sccm
  • 传感器响应时间
    5ms
  • 控制响应时间
    300ms
  • 预热时间
    ≤1s
  • 阀门
    常闭
  • 泄漏率
    1*10-11 Pa*m³/s He
机械特性
电气和通讯
特征
尺寸
产品选型
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