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苏州爱拓利电子设备有限公司
350系列
气体质量流量控制器
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Product Overview
产品概况

MFC350 系列为全新升级的毛细管热式气体质里流量计/控制器。

350系列工作原理
产品特点

精度：0.5 % F.S.

测量范围：0.5%~100% F.S.

控制范围：1%~100% F.S.

工作压差范围：0-1 MPa

≤1s 快速响应

90+种气体适用

量程：2 sccm-200slm

通讯方式: 模拟量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

Technical Parameters
技术参数
主要参数
  • 介质要求
    洁净干燥气体
  • 气体种类
    130+ Available for 130+types of gas
  • 量程
    0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm
    0-1, 2, 3, 4, 200 slpm
  • 控制范围
    1%F.S-100%F.S.（1:100）
  • 准确度
    0.2% F.S
  • 重复精度
    0.05% F.S
  • 线性度
    0.1%F.S
  • 控制响应时间
    100ms
  • 预热时间
    0s
  • 阀门
    常闭
  • 泄漏率
    1*10-10 Pa*m³/s He (氟橡胶密封)
    1*10-11 Pa*m³/s He（全金属密封）
  • 分辨率
    0.001sccm
机械特性
电气和通讯
特征
尺寸
产品选型
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