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苏州爱拓利电子设备有限公司
600系列流量计
气体质量流量控制器
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Product Overview
产品概况

MFC600 系列层流差压式气体质量流量计/控制器，其结构包含层流差压式流量传感器、高精度 比例阀和控制系统，内置压力和温度补偿系统，独创核心算法，动态调控高精度比例阀以自动控制 气体流量，提:供更加精准和稳定的气体流量测量和控制。

600系列工作原理
产品特点

精度：0.2% F.S.

控制范围：1%~100% F.S.

5ms测量响应，100ms控制响应

130+种气体灵活切换, 配气

同时测量标况流量和工况流量

量程范围：1 sccm-200 slm

通讯方式：模拟量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat

Technical Parameters
技术参数
主要参数
  • 介质要求
    洁净干燥气体
  • 气体种类
    130+ Available for 130+types of gas
  • 量程
    0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm
    0-1, 2, 3, 4, 200 slpm
  • 控制范围
    1%F.S-100%F.S.（1:100）
  • 准确度
    0.2% F.S
  • 重复精度
    0.05% F.S
  • 线性度
    0.1%F.S
  • 控制响应时间
    100ms
  • 预热时间
    0s
  • 阀门
    常闭
  • 泄漏率
    1*10-10 Pa*m³/s He (氟橡胶密封)
    1*10-11 Pa*m³/s He（全金属密封）
  • 分辨率
    0.001sccm
机械特性
电气和通讯
特征
尺寸

Full scale flow

Height

Width

Depth

A

B

C

D

E

重量

MFC600

145.8mm

75.00mm

33.80mm

81.00mm

20.00mm

6.90mm

3.00mm

2 x M4↧ 8mm

1.4kg

5.745in

2.955in

1.33in

3.19in

0.788in

0.272in

0.118in

2 x M4↧0.315in

3.09 lb

MFM600

146.30mm

71.00mm

28.60mm

77.00mm

15.00mm

6.80mm

3.00mm

2 x M4↧ 8mm

1.0kg

5.764in

2.80in

1.127in

3.034in

0.591in

0.268in

0.118in

2 x M4↧0.315in

2.21 Ib

产品选型
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