MFM330气体质量流量计

所属分类：气体质量流量计
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发布日期：2023-01-30 09:55:09

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产品概述

气体质量流量计产品特性：

◆无可移动部件

◆支持多种通讯协议

◆容易安装及维护

◆高精度、高稳定性、非常低的零漂

◆可测多种气体

◆一体液晶显示和按键操作

◆内置温度和压力传感器

◆同时显示气体瞬时流量和累积流量

应用领域：

——分析仪器 ——生物技术

——激光焊机 ——真空镀膜

——干刻（RIE/DRIE） ——气相色谱分析

——过程自动化 ——燃料电池

技术参数：

流量规格： 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

准确度： ±0.5%F.S.

重复精度： ±0.2%F.S.

流量控制范围： 0.5%~100%F.S.

使用温度： -20~65℃

使用湿度：0~98%（无凝露）

耐压： 3Mpa

响应时间：<100mS

供电电压：15~40VDC

功率：<1.2W

通讯方式：RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA

气路部件材质：SUS304/SUS316L

密封件材质：氟橡胶

气路接头：快拧、快插、卡套、VCR

产品尺寸：

外接显示器尺寸：

电气连接:DB9

Pin No.	CAN 版	RS232 版	RS485 版	0~5VDC 版	4~20mA 版
1	VCC	VCC	VCC	VCC	VCC
2		RX		Set	Iin+
3		TX		Monitor	Iin-
4	Alarm	Alarm	Alarm	Alarm	Alarm
5	GND	GND	GND	GND	GND
6
7	CANH		A		Iout+
8	CANL		B		Iout-
9	DGND	DGND	DGND	DGND	DGND

产品选型：

例:MFC330_ RS485_300sccm _ 6mm快拧 _ S

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