气体质量流量计产品特性:
◆无可移动部件
◆支持多种通讯协议
◆容易安装及维护
◆高精度、高稳定性、非常低的零漂
◆可测多种气体
◆一体液晶显示和按键操作
◆内置温度和压力传感器
◆同时显示气体瞬时流量和累积流量
应用领域:
——分析仪器 ——生物技术
——激光焊机 ——真空镀膜
——干刻(RIE/DRIE) ——气相色谱分析
——过程自动化 ——燃料电池
技术参数:
流量规格: 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM
0~1、2、5、10、20、30、50SLPM
准确度: ±0.5%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量控制范围: 0.5%~100%F.S.
使用温度: -20~65℃
使用湿度:0~98%(无凝露)
耐压: 3Mpa
响应时间:<100mS
供电电压:15~40VDC
功率:<1.2W
通讯方式:RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
气路部件材质:SUS304/SUS316L
密封件材质:氟橡胶
气路接头:快拧、快插、卡套、VCR
产品尺寸:
外接显示器尺寸:
电气连接:DB9
Pin No. | CAN 版 | RS232 版 | RS485 版 | 0~5VDC 版 | 4~20mA 版 |
1 | VCC | VCC | VCC | VCC | VCC |
2 | RX | Set | Iin+ | ||
3 | TX | Monitor | Iin- | ||
4 | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm |
5 | GND | GND | GND | GND | GND |
6 | |||||
7 | CANH | A | Iout+ | ||
8 | CANL | B | Iout- | ||
9 | DGND | DGND | DGND | DGND | DGND |
产品选型:
例:MFC330_ RS485_300sccm _ 6mm快拧 _ S
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