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MFC330气体质量流量控制器

MFC330气体质量流量控制器

  • 所属分类:气体质量流量控制器
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2023-04-12 10:40:24
  • 产品概述




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    产品特性

    ◆无可移动部件

   ◆支持多种通讯协议
    ◆容易安装及维护
    ◆高精度、高稳定性、非常低的零漂 
    ◆可测多种气体
    ◆一体液晶显示和按键操作
    内置温度和压力传感器
    同时显示气体瞬时流量和累积流量

      应用领域:


  技术参数:


    ——分析仪器

——干刻(RIE/DRIE)

 流量规格:

0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

    ——生物技术


——气相色谱分析

    ——激光焊机


——过程自动化

 准确度:

±0.5%F.S.

    ——真空镀膜


——燃料电池
 重复精度:

±0.2%F.S.

   

   产品尺寸:


 流量测量范围:

2%~100%F.S.

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 使用温度:

-20~65℃
 使用湿度: 

0~98%(⽆凝露)

 Max耐压:

3MPa
 响应时间: <1s
 供电电压:

15~40VDC

 功率: 

<5W

 通讯方式:RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
 气路部件材质:SUS304、SUS316L

 密封件材质:

氟橡胶

 气路接头:

快拧、快插、卡套、VCR


  外接显示器尺寸:


image.png


   电气连接:DB9 


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   产品造型:


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气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM),MFC是带有控制气体质量流量的装置,而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置,无锡爱拓利电子科技有限公司作为气体质量流量控制器厂家,生产和出口流量控制器,热式流量计,气体流量计,质量流量计,质量气体流量计,氧气流量计,气体涡轮流量计,罗茨流量计,旋进旋涡流量计等产品,欢迎新老客户来电咨询!



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