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MFC330气体质量流量控制器

MFC330气体质量流量控制器

  • 所属分类:气体质量流量控制器
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2022-10-15 15:36:51
  • 产品概述

产品特性:

◆无可移动部件

◆支持多种通讯协议

◆容易安装及维护

◆高精度、高稳定性、非常低的零漂

◆可控多种气体

◆一体液晶显示和按键操作

◆内置温度和压力传感器

◆可控制气体瞬时流量和累积流量

应用领域:

——分析仪器          ——生物技术 

——激光焊机          ——真空镀膜 

——干刻(RIE/DRIE)        ——气相色谱分析

——过程自动化           ——燃料电池

技术参数:

流量规格: 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

                  0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

准确度: ±0.5%F.S.

重复精度: ±0.2%F.S.

流量控制范围: 2%~100%F.S.

使用温度: -20~65℃

使用湿度:0~98%(无凝露)

耐压: 3Mpa

工作压差:0~1Mpa

响应时间:<1s

供电电压:15~40VDC

功率:<5W

通讯方式:RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA

气路部件材质:SUS304 SUS316L

密封件材质:氟橡胶

气路接头:快拧、快插、卡套、VCR

产品尺寸:


1665739731110976.jpg

        外接显示器尺寸:

image.png


电气连接: DB9

image.png



产品选型:

Pin No.CAN版RS232版RS485版0~5VDC版4~20mA版
1VCC VCC VCC VCC VCC
2
RX
Set Iin+
3
TX
MonitorIin-
4 Alarm Alarm Alarm Alarm Alarm
5GND GNDGNDGND GND
6


Clear Clear
7 CANH
A
Iout+
8 CANL
B

Iout-
9DGND DGND DGND DGND DGND






















      产品选型

1665738360907313.jpg

      例:MFC330_ RS485_300sccm _  6mm快拧 _ S

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