流量控制器

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流量控制器检查出现偏差的方法有哪些?

2022-11-07 14:57:05

无锡爱拓利电子科技有限公司为您介绍流量控制器检查出现偏差的方法有哪些?

流量控制器是准确丈量气体流量的仪器。因为温度或压力的动摇,丈量值不会错位。不需求温度和压力补偿。即便体系压力动摇或环境温度发生变化,也能够根据需求进行流量设定,主动将流量恒定在设定值。它不会导致它违背设定值。

流量控制器

流量控制器能够准确操控给定量的气体,用于不同气体的份额操控,用于许多进程的流量控制。直接丈量气体的质量流量,输出质量流量信号,不需要其他设备。

质量流量控制器用于关于气体或者液体的质量流量进行丈量和操控。分散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,混气配气体系,毛细管丈量气候色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度较高,重复性好。

质量流量计是一种准确丈量气体流量的仪表,其丈量值不因温度或压力的动摇而失准,不需求温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调理阀门,阀门能够使经过操控器的流量从零调理到丈量的满量程,在工作的进程当中,控制器的入口和出口之间会发生一个气压降,即压差。

查看呈现误差办法:

1、零点是否有漂移,首先需接通电源,质量流量控制器信号为0的情况下,则需求用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号;

2、气体是否纯净,假如盘路有污染,那么流量就肯定会收到影响,这个时分能够用高纯N2多次清扫,假如还是不能解决则需求找专业维修点承受A/S;

3、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力,假如质量流量控制器的压力不行就会呈现达不到标定量程。

流量控制器

上述就是无锡爱拓利电子科技有限公司为您介绍流量控制器检查出现偏差的方法有哪些的全部内容,如有任何疑问,欢迎随时咨询。


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