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辽宁MFM330气体质量流量计

辽宁MFM330气体质量流量计

  • 所属分类:辽宁气体质量流量计
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2023-08-25 17:40:52
  • 产品概述


1.jpg

    产品特性

    ◆无可移动部件

    ◆支持多种通讯协议
    ◆容易安装及维护
    ◆高精度、高稳定性、非常低的零漂 
    ◆可测多种气体
    ◆一体液晶显示和按键操作
    内置温度和压力传感器
    同时显示气体瞬时流量和累积流量

       应用领域:


  技术参数:


    ——分析仪器

——干刻(RIE/DRIE)

 流量规格:

0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

    ——生物技术


——气相色谱分析

    ——激光焊机


——过程自动化

 准确度:

±0.5%F.S.

    ——真空镀膜


——燃料电池
 重复精度:

±0.2%F.S.

   

   产品尺寸:


 流量测量范围:

0.5%~100%F.S.

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 使用温度:

-20~65℃
 使用湿度: 

0~98%(⽆凝露)

 Max耐压:

3MPa
 响应时间: <1s
 供电电压:

15~40VDC

 功率: 

<1.2W

 通讯方式:RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
 气路部件材质:SUS304、SUS316L

 密封件材质:

氟橡胶

 气路接头:

快拧、快插、卡套、VCR


  外接显示器尺寸:


image.png


   电气连接:DB9 


未标题-2.jpg


   产品造型:


未标题-3.jpg


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