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MFC501气体质量流量控制器

MFC501气体质量流量控制器

  • 所属分类:气体流量控制器
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2021-01-14 17:35:25
  • 产品概述

产品简介:


型号:MFC501应用领域:——分析仪器 
        ——干刻(RIE/DRIE)——生物技术 
        ——气象色谱分析——激光焊机


产品特征:


高精度,高稳定性,快响应,小体积。


产品简介:


型号:MFC501


应用领域:


——分析仪器                             ——干刻(RIE/DRIE)

——生物技术                             ——气象色谱分析

——激光焊机                             ——过程自动化

——真空镀膜                             ——燃料电池


产品特性:


◆无可移动部件

◆支持多种通讯协议

◆容易安装及维护

◆高精度、高稳定性、非常低的零漂

◆可控多种气体

◆可配控制器

◆产品低功耗


      机械尺寸:


流量控制器


技术指标:


      流量规格:0~20,30,50,100,150,200,275SLM

准 确 度:±1.5%F.S.

线 性 度:<±1%F.S.

重复精度:±0.2%F.S.

响应时间:<1S

工作压差:0~0.8MPa

耐压:3MPa

环境温度:5-55℃

电气连接:Db15

输出信号:0~5V、4~20mA

电      源:±15V或者15~28V

流量调节范围:2~100%F.S

漏      率:<1*10-7Pa*m3/s

温度系数:<0.1%F.S/℃

外形尺寸:106*36*138

重      量:2.0Kg


电气连接:DB15


流量控制器

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