流量控制器的测量和控制不因温度或压力的动摇而失准测量控制的自动化、准确地定量控制流量 适用规模宽、准确度高、重复性好 体积小巧、安装方便、操作简略、技术先进、符合发展潮流
1.流量的测量和控制不因温度或压力的动摇而失准
关于大都流量测控系统而言,很难防止系统的压力动摇及环境和介质的温度改变。关于体积流量计,压力和温度的动摇将导致较大的误差,关于质量流量计/质量流量控制器,则一般能够忽略不计。
2.测量控制的自动化
质量流量计/质量流量控制器能够将流量测量值以规范电信号形式输出。这样很容易完成对流量的数字显现累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言,还能够完成流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0-5V或4-20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机衔接,进行自动控制。
3.准确地定量控制流量
质量流量控制器能够准确地操控气体的给定量,这对许多工艺进程的流量控制、关于不同气体的份额控制等特别有用。
4.适用规模宽
在很宽的工作压力规模,咱们的产品能够从真空直到10MPa;能够适用于多钟气体介质(包含一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量规模,咱们的产品小流量规模可达0-2SCCM,大流量规模可达0-200SLM.流量显现的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制规模是满量程的2-100(量程比为--50:1),因此在许多范畴得到使用。
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